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제목 [일반대학원 스마트융합시스템공학과 및 학부 MSDE 전공] 석사과정 신정우 씨 외, 제 25회 한국 반도체 학술 대회 ‘우수 논문상’ 수상 날짜 2018-07-20 조회수 2431
작성자 MSDE전공
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서울과학기술대학교 일반대학원 스마트생산융합시스템공학과 석사과정의 신정우 씨(제 1저자) 및 오성국, 양병찬 씨(공동 저자) (왼쪽 사진, 지도교수 안지환)가 올해 2월 5일~7일 강원도 하이원 리조트에서 개최된 「제 25회 한국 반도체 학술 대회(KCS 2018)」에서 Interconnect & Package 분과의 `분과 우수 논문상‘을 수상하였다. 한국 반도체 학술 대회는 1994년 첫 대회 이후 매년 1,300여명이 참석하는 한국반도체 분야의 최대 행사로서, 올해에는 “Semiconductor Technology for the Paradigm Shift”를 주제로 개최된 바 있다.

 

본 논문의 주저자 신정우 씨와 공동저자 오성국, 양병찬 씨는 산업통상자원부의 창의산업융합 특성화 인재 양성사업과 한국연구재단 일반연구자 지원사업의 지원을 받아 광운대학교 전기공학과 이태훈 교수팀과의 공동 연구를 통해 “Atomic Deposition of Dense and Uniform ZrO2 Thin Film on Functionalized Graphene(상압 플라즈마 처리를 통해 활성화된 그래핀 표면 위 원자층 증착 공정으로 형성된 지르코니아 박막)”이라는 제목의 논문을 발표하였다. 본 논문에서는 차세대 2차원 소재인 그래핀 소재를 다양한 전자소자에 적용하기 위한 그래핀 위 고품질 박막 증착 기술을 제안하였다. 상압 플라즈마 공정을 이용해 구조적 및 전기적 성능 저하를 최소화하면서 그래핀 표면을 활성화하고, 이후 원자층 증착 기술을 이용하여 고품질의 ZrO2 유전 박막을 형성함으로써 그래핀 표면에서도 화학적 결합에 기반하는 증착 기술을 응용할 수 있음을 보인 바 있다.

 

한편, 신정우, 오성국, 양병찬 씨는 본교 학부 MSDE 전공을 졸업한 후 일반대학원 스마트생산융합시스템공학과 `에너지-나노공학 연구실(지도교수 안지환)`에서 석사과정 중인 학생으로, 에너지-나노공학연구실 에서는 원자층 증착법(ALD) 등의 차세대 박막 공정 및 응용에 관한 연구와 고체 산화물 연료전지(SOFC)를 비롯한 차세대 친환경 에너지 소자 연구를 활발히 진행 중에 있다.

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